線上藥液物理參數與濃度連續監測系統 (Inline Refractometry & Density)

本區塊專為半導體濕製程（顯影液 TMAH、蝕刻液、清洗酸液）、特用化學品調配與高濃度藥液合成設計 。導入奧地利 Anton Paar 高精度 Inline 線上折光儀/密度計/聲速濃度計與 日本 KRK、芬蘭 Valmet 光學高濃度監控設備，完全免除人工危險取樣與檢測延遲 。透過即時光學與物理參數回傳，精準捕捉藥液濃度的微小波動，協助產線實現自動化加藥與品質閉環控制，避免整批藥液配比偏差並顯著提升產品良率 。

#化學藥液線上濃度計 #Inline折射度計 #半導體濕製程 #高濃度化學品調配 #密度與聲速監測
鎳離子濃度監控儀
鎳離子濃度監控儀
廠牌｜KRK/日本
檢測範圍｜
高濃度：0.00~200.0g/L
低濃度：0.00~20.00g/L
 
銅離子濃度監控儀
銅離子濃度監控儀
廠牌｜KRK/日本
檢測範圍｜
高濃度：0.00~80.0g/L
低濃度：0.00~20.00g/L
 
工業氫氧化鈉監控儀 NaOH
工業氫氧化鈉監控儀 NaOH
廠牌｜Nizawa/台灣
檢測項目｜NaOH
0.00%~25.99% / 15.13%~50.00%
工業鹽酸監控儀 HCl
工業鹽酸監控儀 HCl
廠牌｜Nizawa/台灣
檢測項目｜HCl
0.00%~17.98% / 20.01%~39.07%
工業硝酸監控儀 HNO3
工業硝酸監控儀 HNO3
廠牌｜Nizawa/台灣
檢測項目｜HNO3
0.00%~30.00% / 35.01%~96.00%
工業硫酸監控儀 H2SO4
工業硫酸監控儀 H2SO4
廠牌｜Nizawa/台灣
檢測項目｜H2SO4 
0.00%~30.25% / 92.00%~100.00%
工業氫氧化鉀監控儀 KOH
工業氫氧化鉀監控儀 KOH
廠牌｜Nizawa/台灣
檢測項目｜KOH
0~26.00% / 26~42.00%
工業氫氟酸監控儀 HF
工業氫氟酸監控儀 HF
廠牌｜Nizawa/台灣
檢測項目｜HF
0.00%~30.0%
銅濃度監控儀
銅濃度監控儀
廠牌｜KRK/日本
測定原理｜吸光光度法
檢測範圍｜高濃度：0.00 ~ 80.0g/l、低濃度：0.00 ~ 19.99g/l、硫酸銅：0 ~ 300g/l
鎳濃度監控儀
鎳濃度監控儀
廠牌｜KRK/日本
測定原理｜吸光光度法
檢測範圍｜高濃度：0.00 ~ 199.9g/l、低濃度：0.00 ~ 19.99g/l
Valmet 3000 便攜式電導度與濃度分析儀
Valmet 3000 便攜式電導度與濃度分析儀
廠牌｜Valmet
主要功能｜電導度
濃度範圍｜55 ~1000 mS/cm
Valmet 3100 電導度與濃度分析儀
Valmet 3100 電導度與濃度分析儀
廠牌｜Valmet
主要功能｜電導度
濃度範圍｜低導電度：0 μS/m 至 200 S/m｜高導電度：2 mS/m 至 200 S/m
Valmet 3200 雙導電度量測分析儀
Valmet 3200 雙導電度量測分析儀
廠牌｜Valmet
主要功能｜電導度
濃度範圍｜0 μS/cm 至 1 S/cm（0 μS/m 至 100 S/m）
Valmet 3400 線上蒸煮液導電量測分析儀
Valmet 3400 線上蒸煮液導電量測分析儀
廠牌｜Valmet
主要功能｜電導度/濃度
濃度範圍｜預設27種循環迴路配方(適用於間歇式與連續式消化槽)
Valmet 3500 高電導苛刻度量測分析儀
Valmet 3500 高電導苛刻度量測分析儀
廠牌｜Valmet
主要功能｜電導度/濃度
濃度範圍｜預設27種循環迴路配方(適用於間歇式與連續式消化槽)
線上折射儀（製程即時濃度監測）
線上折射儀（製程即時濃度監測）